Инновационное применение карбидокремниевой керамики и технологии 3D-печати
К керамическим компонентам полупроводникового оборудования предъявляются высокие требования с точки зрения чистоты материала, точности размеров, механических свойств, тепловых свойств и электрических свойств. Карбидокремниевая керамика представляет собой тип материала, который зарекомендовал себя на рынке и имеет отличные характеристики для компонентов полупроводникового оборудования. Широко применяется в керамических манипуляторах (жесткость, износостойкость), хрустальных лодочках (чистота, высокотемпературные механические свойства), холодных пластинах (теплопроводность, жесткость). ), верстак (точность размеров, стабильность исполнения) и другие компоненты имеют важные применения.
Однако из-за требований рынка к большим размерам, сложной структуре, короткому производственному циклу, высокой стабильности и низкой стоимости традиционный процесс производства керамики из карбида кремния столкнулся с узкими местами. Используйте технологию аддитивного производства, чтобы совершить прорыв в технологии производства керамических компонентов для полупроводникового оборудования из карбидокремниевой керамики.
Керамические компоненты полупроводникового оборудования, напечатанные на 3D-принтере, в соответствии с требованиями различного размера, формы и назначения, обрабатываются посредством 3D-печати, реакционного спекания и отделки для получения высокой чистоты, качества при высоких температурах, высокой теплопроводности, устойчивости к высоким температурам, трения и износостойкости. свойства Отличные продукты, которые могут удовлетворить потребности многих сценариев применения керамических компонентов в полупроводниковом оборудовании. Эта серия продуктов имеет короткий производственный цикл, стандартизирована и производится серийно, а также может обеспечить дифференцированный структурный дизайн, который больше подходит для эффективного и высококачественного производства в полупроводниковой промышленности.
С помощью технологии 3D-печати мы можем проектировать и производить керамические детали из карбида кремния высокой чистоты, высокой температурной стабильности, высокой теплопроводности, высокой термостойкости и превосходной износостойкости в соответствии с различными размерами, формой и функциональными требованиями. Эти компоненты не только отвечают потребностям различных применений, но также имеют короткие производственные циклы, стандартизированы, могут производиться серийно, могут реализовывать дифференцированную структурную конструкцию и больше подходят для эффективных и высококачественных производственных нужд различных отраслей промышленности.
Кроме того, на основе технологии PEP (Powder Extrusion Printing) мы можем производить керамические и металлические изделия сложной структуры методом «3D-печать + порошковая металлургия». Эти продукты имеют стабильные и отличные характеристики, что позволяет эффективно сократить производственный цикл и себестоимость продукции.
Космическое зеркало представляет собой крупногабаритный, легкий комплексный структурный компонент из карбидокремниевой керамики интегрированной конструкции, почти сетчатой формы, изготовленный методом Sublimation 3D на основе процесса PEP. Плотность может достигать 99%, а механические свойства стабильны. Он эффективно способствовал развитию спутников дистанционного зондирования Земли и строительству космической инфраструктуры, что может значительно снизить затраты и сократить цикл НИОКР и производства. Существует огромное рыночное пространство для спутников дистанционного зондирования, которые являются наиболее быстрорастущими в коммерческой аэрокосмической сфере.